





金融界2024年12月18日消息,國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示,賽瑞達(dá)智能電子裝備(無錫)有限公司取得一項(xiàng)名為“一種立式LPCVD設(shè)備工藝腔室”的專利,授權(quán)公告號 CN 222160351 U,申請日期為2024年2月。
專利摘要顯示,本實(shí)用新型公開了一種立式LPCVD設(shè)備工藝腔室,旨在提供一種解決石英內(nèi)管拆裝不便問題的立式LPCVD設(shè)備工藝腔室,其技術(shù)方案要點(diǎn)是,包括石英外管,所述石英外管內(nèi)還設(shè)有工藝管,所述工藝管底端套設(shè)有阻流石英套管,所述阻流石英套管底端還設(shè)有變徑筒,所述變徑筒內(nèi)還設(shè)有旋轉(zhuǎn)裝置與石英管連接。
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