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PE-CVD系統
瀏覽器自帶分享功能也很好用哦~PE-CVD系統是賽瑞達智能電子裝備（無錫）有限公司主營產品之一,憑借可靠的質量,穩定的性能,合理的價格,深受好評,廠家足貨供應,請來此了解詳情,采購請聯系13401355060.
產品詳情
工藝規范
◆繞鍍：<1mm
◆Poly均勻性(80-150nm):<4%(片內/片間/批間)
◆成膜種類：SiNx,SiONx,POLY
硬件規格
◆溫區數量：6個溫區
◆最高溫度：650℃
◆溫度均勻性：300℃~650℃±1℃
◆晶圓裝載法：槳軟著陸
◆工藝腔的材質：石英
主要特點
◆產能：616~768pcs/管(雙舟)
◆管數：6管
◆壓力控制：APC控制方式
◆系統控制：PLC和PC工控機
◆通訊：Melsec,MES,I/O,SECS-II等
◆自動化集成：用于客戶優化和MES控制集成的全自動化解決方案
優點
◆快速的工藝認證，允許極高的生產提升
◆工藝過程中APC良好的控制工藝管壓力
◆更大的正常運行時間和更低的成本，良好的技術支持和服務，確保設備長期穩定使用
PE-CVD系統
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13401355060
產品詳情
工藝規范
◆繞鍍：<1mm
◆Poly均勻性(80-150nm):<4%(片內/片間/批間)
◆成膜種類：SiNx,SiONx,POLY
硬件規格
◆溫區數量：6個溫區
◆最高溫度：650℃
◆溫度均勻性：300℃~650℃±1℃
◆晶圓裝載法：槳軟著陸
◆工藝腔的材質：石英
主要特點
◆產能：616~768pcs/管(雙舟)
◆管數：6管
◆壓力控制：APC控制方式
◆系統控制：PLC和PC工控機
◆通訊：Melsec,MES,I/O,SECS-II等
◆自動化集成：用于客戶優化和MES控制集成的全自動化解決方案
優點
◆快速的工藝認證，允許極高的生產提升
◆工藝過程中APC良好的控制工藝管壓力
◆更大的正常運行時間和更低的成本，良好的技術支持和服務，確保設備長期穩定使用
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