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立式濕氧化爐
瀏覽器自帶分享功能也很好用哦~立式濕氧化爐是賽瑞達(dá)智能電子裝備（無錫）有限公司主營產(chǎn)品之一,憑借可靠的質(zhì)量,穩(wěn)定的性能,合理的價格,深受好評,廠家足貨供應(yīng),請來此了解詳情,采購請聯(lián)系13401355060.
產(chǎn)品詳情
立式濕氧化爐技術(shù)指標(biāo)
◎適用范圍：適用于VCSEL等光電器件的熱氧化工藝
◎精準(zhǔn)的溫控與均勻性：能在300℃至500℃的關(guān)鍵溫度范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高均勻性加熱，可在此范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)≤±1℃的溫度精準(zhǔn)控制
◎水汽控制：能精確控制水汽發(fā)生和輸送，保證反應(yīng)環(huán)境穩(wěn)定
◎批量處理與自動化：支持單次25-75片晶圓同時處理，并具備全自動晶圓搬運(yùn)功能，滿足量產(chǎn)需求
立式濕氧化爐
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13401355060
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立式濕氧化爐技術(shù)指標(biāo)
◎適用范圍：適用于VCSEL等光電器件的熱氧化工藝
◎精準(zhǔn)的溫控與均勻性：能在300℃至500℃的關(guān)鍵溫度范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高均勻性加熱，可在此范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)≤±1℃的溫度精準(zhǔn)控制
◎水汽控制：能精確控制水汽發(fā)生和輸送，保證反應(yīng)環(huán)境穩(wěn)定
◎批量處理與自動化：支持單次25-75片晶圓同時處理，并具備全自動晶圓搬運(yùn)功能，滿足量產(chǎn)需求
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